廢氣處理又稱廢氣凈化，指的是針對工業場所、工廠車間產生的廢氣在對外排放前進行預處理，以達到國家廢氣對外排放的標準的工作。

    催化燃燒是一種類似熱氧化的方式來處理VOC的,它凈化有機物是用鉑、鈀等貴金屬催化劑及過渡金屬氧化物催化劑來代替火焰,操作溫度較熱氧化低一半,通常為250℃～500℃。由于溫度降低,允許使用標準材料來代替昂貴的特殊材料,大大地降低設備費用和操作費用。與熱氧化相似,系統仍可分為間壁式催化燃燒和蓄熱式催化燃燒兩類熱量回收方式。

    間壁式催化燃燒(簡稱為TR0)是在催化床后設一個換熱器,該換熱器在降低排放氣溫度的同時,也預熱含VOC，有機廢氣處理,其熱回收達60%～75%。該類氧化器早已用于工業過程。

    蓄熱催化燃燒(簡稱為RCO)是一種新的催化技術。它具有RTO高效回收能量的特點和催化反應的低溫操作及能量有效性的優點,將催化劑置于蓄熱材料的頂部,來使凈化達到較優,其熱回收率高達95%～98%。RCO系統性能的關鍵是使用的催化劑,浸漬在鞍狀或是蜂窩狀陶瓷上的貴金屬或過渡金屬催化劑,允許氧化發生在RTO系統溫度的一半,既降低了燃料消耗,又降低了設備造價。

    有的國家已經開始使用RCO技術進行有機廢氣的消除處理,很多RTO設備已開始轉變成RCO,這樣可以削減操作費用達33%～75%,并增加排放氣流量達20%～40%。