催化凈化是典型的氣固相催化反應，其實質是活性氧參與的深度氧化作用。在催化凈化過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑表面具有吸附作用，使反應物分子富集于表面提高了反應速率，加快了反應的進行；借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量熱能，從而達到去除廢氣中的有害物的方法。

在將廢氣進行催化凈化的過程中，廢氣經管道由風機送入熱交換器，將廢氣加熱到催化燃燒所需要的起始溫度。經過預熱的廢氣，通過催化劑層使之燃燒。由于催化劑的作用，催化燃燒法廢氣燃燒的起始溫度約為250～300攝氏度，大大低于直接燃燒法的燃燒溫度650～800攝氏度，高溫氣體再次進入熱交換器，經換熱冷卻，以較低的溫度經風機排入大氣。

催化燃燒設備的處理效果理想，和它的處理工藝有關，而放熱量，燃燒的溫度，熱量等要素會影響它的工藝，進而對設備的處理效果產生影響，為了讓設備將廢氣處理更潔凈，注意操控好它的放熱，將熱量盡可能大面積收回。

催化燃燒設備的吸附法能耗低、工藝成熟、去除率高、凈化*、易于推廣的優點，有很好的環境和經濟效益。用途：吸附法主要用于低濃度，高通量可揮法性有機物(VOCs)的處理。吸附劑：決定催化燃燒設備吸附法處理VOCs的關鍵是吸附劑，吸附劑應具有密集的細孔結構、內表面積大、吸附性能好、化學性質安穩、不易破碎、對空氣阻力小等性能，常用的有活性炭、氧化鋁、硅膠、人工沸石等。